在真空系統之中低溫冷阱也有著很重要的應用

　　在真空應用中，低溫冷阱是一種將除氣體以外的所有蒸汽冷凝成液體或固體的裝置。比較常見的目的是避免蒸汽污染真空泵。低溫冷阱還指制冷表面或擋板的應用，以防止油蒸汽從泵流入腔室。在這種情況下，隔板或管道包括一些制冷葉片，將連接到現有泵系統的入口。通過制冷隔板，或使用液氮等低溫器，或使用電力驅動Peltier元件，碰撞隔板葉片的油蒸汽分子會凝結，然后從泵腔中去除。

　　使用油作為工作流體的泵(擴散泵)或作為其潤滑液的泵(機械旋轉泵)通常是真空系統中的污染物。在這個泵口放置一個低溫冷阱可以大大降低油蒸汽回流到腔體內的風險。

　　低溫冷阱也可用于真空管道試驗，如小規模低溫蒸餾/冷凝。這是基于冷卻劑的使用，如液氮或干冰在丙酮或類似的低熔點溶劑中的冷凍混合物來實現的。

　　低溫冷阱也用于低溫泵系統，通過將大氣的主要成分(氮、氧、二氧化碳和水)凝結成液體或固體來產生硬真空。

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